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電池等溫量熱儀用于研究光柵尺發(fā)熱特性

更新時(shí)間:2024-05-16  |  點(diǎn)擊率:1369

【預(yù)覽】本文利用電池等溫量熱儀對(duì)光柵尺的發(fā)熱特性進(jìn)行了研究,測(cè)定得到了光柵尺讀數(shù)頭在正常工況下的實(shí)時(shí)發(fā)熱功率。

前言

光柵尺,也被稱為光柵尺位移傳感器,是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置,用于直線位移或者角位移的高精度檢測(cè),具有檢測(cè)范圍大、檢測(cè)精度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。光柵尺常被應(yīng)用于精密設(shè)備的伺服系統(tǒng)中,如光刻機(jī)工作臺(tái)、超高精度機(jī)床(數(shù)控機(jī)床)和先進(jìn)科學(xué)儀器等。

 

高精度光柵尺是光刻機(jī)或高精度機(jī)床實(shí)現(xiàn)超高定位精度和加工精度的基礎(chǔ)。而光柵尺的測(cè)量精度除了與制造工藝有關(guān)外,還受到器件自身熱膨脹系數(shù)的影響。讀數(shù)頭發(fā)熱、環(huán)境溫度變化或附近存在熱源都可能引起光柵尺在工作中發(fā)生熱膨脹,引入熱誤差,導(dǎo)致光柵尺難以達(dá)到標(biāo)稱精度。據(jù)報(bào)道,熱誤差占測(cè)量總誤差的40-70%[1], 從而迫切需要通過(guò)熱管理或誤差補(bǔ)償系統(tǒng)進(jìn)行熱誤差控制。其中,光柵尺讀數(shù)頭的發(fā)熱功率是進(jìn)行熱管理設(shè)計(jì)的重要數(shù)據(jù)之一。
由于讀數(shù)頭內(nèi)部具有LED光源,其發(fā)熱功率測(cè)量無(wú)法直接采用適用于常規(guī)電子器件的熱功耗計(jì)算法。同時(shí),讀數(shù)頭發(fā)熱功率低(<100mW)、量熱精度要求高、測(cè)試條件苛刻等難點(diǎn)致使常規(guī)測(cè)量方法難以滿足要求。針對(duì)上述問(wèn)題,本文利用仰儀科技BIC-400A電池等溫量熱儀,并基于儀器創(chuàng)新熱流測(cè)量模式準(zhǔn)確測(cè)定了讀數(shù)頭的發(fā)熱功率,為此類精密器件的熱測(cè)量提供了一種全新的解決方案。

 

 

實(shí)驗(yàn)部分

1. 樣品準(zhǔn)備

樣品:海德漢光柵尺×2

2. 實(shí)驗(yàn)條件

實(shí)驗(yàn)儀器:仰儀科技BIC-400A電池等溫量熱儀、恒流源

工作模式:熱流法

實(shí)驗(yàn)溫度:22℃

采樣頻率:1Hz

光柵尺供電電壓:12V

圖1 (a)光柵尺讀數(shù)頭及(b) BIC-400A電池等溫量熱儀示意圖

3.測(cè)試過(guò)程

(1)將兩個(gè)同樣的讀數(shù)頭分別按照?qǐng)D2所示的方式進(jìn)行組裝,并放置于等溫量熱腔內(nèi),其中一個(gè)樣品作為參比;

(2)設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),等待儀器自動(dòng)控溫至預(yù)設(shè)實(shí)驗(yàn)溫度;

(3)將實(shí)驗(yàn)側(cè)樣品連接電源進(jìn)行工作。儀器測(cè)定樣品與參比之間的溫差變化,并根據(jù)換算得到樣品實(shí)時(shí)發(fā)熱功率。

圖2 等溫量熱儀量熱腔體及裝樣示意圖

 

實(shí)驗(yàn)結(jié)果

測(cè)量結(jié)果如圖3與表1所示,該讀數(shù)頭的產(chǎn)熱功率約為67mW,3次測(cè)試重復(fù)性優(yōu)于1%。另外,綠色陰影區(qū)域?yàn)榱繜醿x實(shí)測(cè)得到的產(chǎn)熱功率變化,藍(lán)色區(qū)域?yàn)橥茰y(cè)的讀數(shù)頭真實(shí)產(chǎn)熱功率。由于樣品自身的熱容以及讀數(shù)頭至冷板的導(dǎo)熱路徑上存在熱阻,實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)存在一定的熱滯后現(xiàn)象。根據(jù)被測(cè)系統(tǒng)的傳熱特性,可以利用一階校準(zhǔn)公式對(duì)熱滯后進(jìn)行修正。

圖3 讀數(shù)頭實(shí)時(shí)產(chǎn)熱功率測(cè)量結(jié)果

 

表1 讀數(shù)頭量熱結(jié)果匯總

 

結(jié)論

BIC-400A 電池等溫量熱儀能夠準(zhǔn)確測(cè)定光柵尺讀數(shù)頭的產(chǎn)熱功率,幫助研究人員進(jìn)行熱管理設(shè)計(jì),保證光柵尺的測(cè)量精度。上述測(cè)量方法同樣適用于其他精密電子器件的熱測(cè)量。

 


參考文獻(xiàn)
[1]王維,楊建國(guó).基于插值算法的數(shù)控機(jī)床復(fù)合誤差補(bǔ)償技術(shù)[J]. 上海交通大學(xué)學(xué)報(bào),2014,48(1):12-15.